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第347章 半导体产业会议

  第347章 半导体产业会议

  六月二十六日,徐申学视察了海湾科技,看到了已经处于量产阶段的HDUV-600型光刻机。

  当天晚上,海湾科技也在官网上首次公开了新一代DUV浸润式光刻机HDUV-600进入量产的消息。

  并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子,将会用于最先进的等效七纳米工艺。

  这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息,包括一些详细的技术参数。

  这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。

  当天晚上,七点半新闻重点报告了该消息:本台记者消息,我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代DUV浸润式光刻机的研发工作。

  新型的HDUV-600型光刻机已经达到国际领先水平,填补了我国尖端半导体装备领域的空白,有力促进了我国半导体制造行业的发展。

  海湾科技负责人王道林表示,HDUV-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平,乃是当下最先进的光刻机,可以用来制造最低七纳米工艺的芯片

  一项设备的研发成功,能够做到上七点半新闻报道的程度,那可不容易,很少有设备能够做到这种程度的。

  但是光刻机却是可以!

  实际上,这不是海湾科技第一次上七点半新闻,实际上之前在HDUV-400光刻机,也就是第一代DUV浸润式光刻机研发成功后,就已经上过七点半新闻了,而当时的报道时长更长,更重视,还伴随着重要人员的视察……

  当时电视报道画面,徐申学都只能站在一旁担任解说,为一群来宾介绍海湾科技的HDUV-400型光刻机,陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。

  现在报道HDUV-600型光刻机的待遇,说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破,所以常规报道还是会有的。

  HDUV-600型研发成功并交付量产,这让国内很多人,尤其是一些自诩业内人士都感叹:是我太保守了。

  前几年海湾科技搞出来HDUV-400型号光刻机的时候,也引起了一片舆论的狂欢,不少业内人士也积极参与讨论。

  当时也有相关的探讨,那就是:

  海湾科技的光刻机,什么时候才能够追上ASML的水准。

  毕竟当时的HDUV-400光刻机,其性能也就大概和NXT-1950相当。

  而NXT1950出现的时候,那已经是2008年的事了,而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米,下探到32/28纳米工艺的核心设备。

  或者说,正是因为有了这款光刻机,才让32/28工艺具备了大规模量产的可行性。

  海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当,但是生产效率还差一些的HDUV-400型光刻机……但是,这款光刻机历史意义重大,因为该款光刻机的出现,意味着海湾科技突破了一系列DUV浸润式光刻机的关键技术。

  当时,人们所畅想的是,海湾科技继续努力,争取三年一个台阶,在解决28纳米工艺之后,三年内解决可以进行双重曝光,能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。

  至于更进一步,甚至能够进行四重曝光的光刻机,乐观估计,五年内能够解决就是巨大的胜利。

  但是让人没有想到的是,海湾科技在突破了DUV浸润式光刻机的关键技术后,在小型号的快速迭代上进展迅速,几乎一年一个台阶。

  去年推出HDUV-500型光刻机,把套刻精度做到了三点五纳米,实现了双重曝光的基本需求,可以用来做十四纳米工艺的芯片,一开始的性能上基本和NXT1965相当,但是不太成熟。

  后来海湾科技推出了升级型号HDUV-500A,虽然工作台产能一样,不过性能更好,更稳定,这款光刻机的性能除了产能低一些,其他性能指标基本上和NXT1970持平。

  而智云微电子以及隔壁的中芯,还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机,其实都不是HDUV-500型号,而是HDUV-500A型。

  去年搞出来500型号就已经够夸张的了,结果海湾科技愣是在今年六月份的时候,就交付了更新一代的HDUV-600型,把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。

  这一型号的核心性能水准,已经和NXT1980相当了……虽然还是有着老毛病,因为工作台不太行,所以生产效率低,后续的维护也会比较麻烦,但是还是太吓人了。

  而要知道,虽然去年ASML就已经搞出来了NXT1980光刻机,但实际上大规模出货也是在今年年初而已。

  而海湾科技的同级别光刻机大规模出货,则是迟了半年左右!

  这意味着,双方之间的差距从之前的十多年,再到四五年,然后又缩小到了现在的半年。

  这一系列的技术进步速度,让很多人都感觉到不可思议。

  别说外人不信了,自己人都不信……太尼玛夸张了。

  因此很多人也怀疑,海湾科技是不是抄袭了ASML的技术……还别说,他们没怀疑错,海湾科技还真就直接对着ASML的光刻机抄。

  抄就抄了,也没啥好丢人的,毕竟技术路线就那么几条,总不能人家在前头走过的路,海湾科技就不能走了啊。

  徐申学也好,海湾科技的研发人员也好,从不避讳这些,能抄就抄,抄不了硬抄…

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